萬濠MTM系列金相顯微鏡

產品用途 
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業領域。 
產品特點 
● X、Y、Z軸0.5μm分辨率；
● 可選配白光納米檢測模組；
● Z軸粗調/微調旋鈕；
● 同軸表面光/底光測量；
● 內建偏光量測光學模塊；
● 可量測透明材質納米級高度差 
規格型號 MTM-1510M MTM-2010M 
工作行程X、Y、Z軸 150*100*120（mm） 200*100*120（mm） 
金屬臺尺寸 210*160（mm） 260*160（mm） 
玻璃臺尺寸 354*228（mm） 404*228（mm） 
光學尺分辨率 0.5μm 
示值誤差 X、Y坐標≤（3+L/75）μm （L為測量長度，單位mm） 
影像系統 彩色1/2"CCD攝像機；640*480像素；結合測量軟件 
顯微鏡系統 目鏡：10倍 
濾光片：紅，藍，綠，白 
測量模式：反射，透射，偏光 
5孔物鏡轉換器 
物鏡放大倍率誤差 包括畸變在內的放大率誤差≤0.008% 
總放大倍數 50X——500X 
照明系統 透射照明光源：白光LED，亮度可調 
同軸照明光源：鹵素燈，亮度可調 
物鏡 
倍率 5X 10X 20X 50X 
工作距離（mm） 26.1 20.2 8.8 3.68 
高度量測模塊（選配件） 光干涉高度量測模塊（M10-CA），高度量測分辨力0.5μm（選配） 
倍率：10X，工作距離5mm，光學分辨力2μm 
其它參數 
外形尺寸（mm） 590*560*850 
儀器重量（kg） 100 110 
電源功耗 110V—220V 50/60Hz

技術規格參數：

萬濠MTM系列金相顯微鏡